產品特性
■結構緊湊,占地面積小
■良好的真空氣密性,確保穩定的清洗效果
■平行式電極板方式,可以調整間距適應清洗工件的大小
■人性化操作界面,易操作及保養維護
■性能可靠,良好的互鎖、故障報警和實時監控功能
■腔體后端安裝有屏蔽系統,避免電磁輻射
■工藝選擇性去除污染物
■可同時存儲多組配方,調用即可
■全過程工藝可控,可在線設置、修改、監控各種工藝參數
產品型號AW-P100
外形尺寸(含報警燈塔)1000(W)×950(D)×1950(H)mm
腔體尺寸500(W)×500(D)×400(H)mm,不銹鋼
等離子體發生器頻率13.56MHz,功率0-600W可調,自動阻抗匹配
電極規格平行式電極,多層,單層有效面積450(W)×450(D)mm
真空系統德國萊寶(Leybold)真空泵,進口氣動角閥、充氣閥,高精度真空計
氣路系統標準配置2路,質量流量計控制,氣體流量0-200ml/min可調,不銹鋼拋光氣體管路及接口組件
控制系統
觸摸屏+PLC全自動控制,手動+自動兩種操作模式
備注
可按客戶需求彈性設計




