深圳市藍星宇電子科技有限公司
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Diener等離子表面處理設備德國德國Diener是專門生產經濟、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設備的公司,是世界上材料處理低溫等離子體設備的市場和技術者
Diener等離子表面處理設備 德國
德國Diener是專門生產經濟、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設備的市場和技術者。Diener采用*的集成化技術開發生產射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應用技術的2.45GHz的等離子清洗機。
目前設備廣泛應用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。其設備生產零件均選用其零件行業的質產品，以保證性能技術穩定。
德國diener等離子表面處理設備特點：
等離子清洗機清洗效果好，效率高，應用范圍廣。
對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求
等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
射頻功率無極連續可調。
高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
特制電極和托盤結構，可充分利用真空艙體內部空間，使處理大化，同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。
的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩定和安全。
設備整體模塊化設計，安裝與維護極為簡單。
德國diener等離子表面處理設備多種系列：
Diener等離子表面處理設備 PICO PCCE 全自動
圖片公供參考
主要技術參數：
1. *全自動PCCE控制系統,可存儲50套程序。
2. *根據工藝要求不同，可設定真空泵啟動與停止、發生器的功率、反應腔體壓強、氣體流量與時間等參數
3. 雙路工作氣體，MFC質量流量計
4. *反應艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門，門帶有觀察窗。
5. *發生器100 kHz, 0 – 500 W連續可調，反射波自動調節。
6. 電極材質為鋁制。
7. 真空泵抽氣能力8m3/h
8. *配有壓力傳感器，實時顯示壓力值
9. 電源電壓：單相AC230V 16A
配置清單：
| 數量 | 備注 | |
| 主機 | 一臺 | Diener PICO |
| 真空泵（國內采購） | 一臺 | VRD-8油泵 |
| 電源線 | 一根 | 2mm |
| 操作說明書 | 一本 |
操作面板
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