產品簡介：CS200A系列數字式質量流量控制器.高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS200A系列數字式質量流量控制器.高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
產品型號：CS200-A型
產品系列：CS系列數字式質量流量控制器
產品類型：高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
| 型號 | CS200-A |
| 閥類型 | 常開(流量規格≤30SLM) 或常閉 | 無 |
| 流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 1sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM | ＜0.02 MPa |
| 溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM; 調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格＞30SLM |
| 耐壓 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠； |
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ |
| 輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 |
| 輸出信號 | 數字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA |
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S/年 |
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) |
| 表面化學成分 | 常態 |
| 表面粗糙度 | 25 Ra |
| 標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭; φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭; |
| 電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 |
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
| 型號 | CS200-A |
| 閥類型 | 常開(流量規格≤30SLM) 或常閉 | 無 |
| 流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 1sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM | ＜0.02 MPa |
| 溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM; 調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格＞30SLM |
| 耐壓 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠； |
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ |
| 輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 |
| 輸出信號 | 數字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA |
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S/年 |
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) |
| 表面化學成分 | 常態 |
| 表面粗糙度 | 25 Ra |
| 標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭; φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭; |
| 電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 |
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
注意 :
氣體質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量的單位規定為：
SCCM (標準毫升/分)；
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為：溫度 —— 273.15K ( 0°C )；
氣壓 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星電子 MFC/MFM 產品中心，單位 SCCM 和“mL/min，0°C,1atm"等同，單位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm"等同。
F.S. (Full Scale)：滿量程值；S.P.(Set Point): 設定點值
