平臺采用敞開式結構,方便拆裝維護;
內置光柵或磁柵反饋系統,分辨率可選0.1μm,0.5μm,1μm,5μm;
重復精度達到±1μm;
體積小,結構簡單,適應于輕負載,高精度的場合;
可任意架構成XY十字平臺
| 電機型號及參數 |
| 性能參數 數值 | 單位 | 數值 |
| 連續推力(在溫度Tmax下) | N | 120 |
| 峰值推力 | N | 900 |
| 負載 | kg | 90 |
| 有效行程 | mm | 100-2500 |
| 分辨率 | μm | 0.5 |
| 速度(1) | mm/s | 2000 |
| 重復精度 | μm | ±1 |
| 平臺重量 | kg | 4.5 |
| 工作環境溫度、濕度 | 0-40℃、20-80%RH |
| 注(1):根據實際的負載質量,會存在達不到速度的情況,具體速度可與工程師溝通 |
| 平臺性能參數 |
| 行程mm 參數 | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | 1100 | 1200 |
| k | 6 | 8 | 8 | 10 | 10 | 12 | 14 | 14 | 16 | 18 | 18 | 20 |
| N | 2 | 3 | 3 | 4 | 4 | 5 | 6 | 6 | 7 | 8 | 8 | 9 |
| 平臺總長L(mm) | 470 | 570 | 670 | 770 | 870 | 970 | 1070 | 1170 | 1270 | 1370 | 1470 | 1570 |