產(chǎn)品描述
- 電子貨架系統(tǒng)是以射頻識別(RFID)技術為基礎，提供了易于輸送的解決方案，可在半導體生產(chǎn)線上追蹤每個晶圓批次。
- 每個存儲位置都會與晶圓批次信息自動連接，當操作人員將某批次晶圓隨意放置在貨架位置上時，專用開關機制便會立即啟動RF信息讀入過程。
- 所有數(shù)據(jù)將會收集于一個數(shù)據(jù)庫中，方便工作人員在企業(yè)內(nèi)聯(lián)網(wǎng)上任何PC終端機，通過獨立操作系統(tǒng)的圖示網(wǎng)絡界面來查詢數(shù)據(jù)。
- 此外，正確存儲位置的LED燈將會亮著讓操作人員知悉該批次晶圓的實際位置，亦可根據(jù)存取方式的不同，定制Smarttag E-Rack 和 Barcode E-Rack。
產(chǎn)品參數(shù)
| 類 別 | 產(chǎn) 品 參 數(shù) |
| 設備型號 | E-Rack |
| 外形尺寸 | L1288xW340xH600 mm（可定制） |
| 物料種類 | Foup/Cassette/Mask等半導體物料 |
| 存儲容量 | 可定制 |
| 使用環(huán)境 | 溫度0-40 ℃ 濕度35-85% |
| 電源 | 3相 220 V 50 Hz |
| RFID規(guī)格 | 發(fā)射頻率134.2 KHZ，感應距離R80 mm |
| 靜電防護 | 防靜電處理材質(zhì)儲位，表面阻值106-1011 Ω 設備外部結構接地，設備電源接地 |
