精度用于粗糙度和輪廓及 130 mm 測量路徑
Mahr 計量的技術(shù)實現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在代設(shè)備經(jīng)驗的基礎(chǔ)上,又經(jīng)過系統(tǒng)化的設(shè)計。各種應(yīng)用中的測量任務(wù)越來越需要同時測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。亞納米級分辨率和殘余噪聲 <20 nm="" rz="">20>
優(yōu)點:
一步完成粗糙度和輪廓測量高測量和定位速度可大幅減少測量時間
創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)解決方案,快速可靠的測桿更換,磁性支架同步檢測測桿
長測量長度,高達(dá) 130 mm,測量行程 13 mm(100 mm 測桿長度)或 26 mm(200 mm 測桿長度)。模塊結(jié)構(gòu),方便維護
訂貨號 | 6720821 |
定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) |
掃描長度末尾(X方向) | 130 mm |
測量速度 | 0.02 mm/s 至 10 mm/s; |
粗糙度測量 | 推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
導(dǎo)塊偏差 | 0.35 µm / 60 mm |
分辨率 | 0.8 nm |
測量范圍 mm | 13 mm(100 mm 測桿) |
掃描長度 | 0.1 mm - 130 mm |
測量力 | 0.5 mN 至 30 mN,軟件可調(diào) |


