WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量的大批量檢測的需求而研發(fā)的兩款儀器,可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn),并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統(tǒng),實現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。
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